糾偏氣囊減振設計方案應達到幾個方面規(guī)定
應精確測量凈化車間里外各種各樣震動源對凈化車間內(nèi)高精密機器設備、高精密儀表設備部位的綜合性震動危害，以明確是不是采用處于被動減振對策。高精密儀器和儀器儀表的容許震動值由生產(chǎn)工藝流程和設備制造單位給予。選定或制定的彈簧減振器或減振器的性能參數(shù)、尺寸和安裝標準。 1糾偏氣囊應該有充足的剛度。
2糾偏氣囊座應采用偏斜校準對策。
3減振系統(tǒng)軟件每個方位的阻尼系數(shù)不可低于0.15。 4減振對策不可危害清潔房間內(nèi)的氣旋方式。
高精密儀器和儀器儀表的處于被動減振對策應是糾偏氣囊能全自動校準偏斜的減振設備。供貨糾偏氣囊的氣動閥門應凈化處理。